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Artigo Científico | Filmes Finos Super-duros | Espanhol |
Autores: A. Gaona-Couto, Eduardo Andrade, J.G. Morales, Juan Manuel Méndez, S. Muhl, Sergio Jiménez-Sandoval
Palavras-chave: não há palavras-chave
Resumo: Películas de carbón-nitrógeno con y sin hidrógeno han sido preparadas por depósito de vapores químicos asistido por plasmas y por espurreo reactivo. Las películas fueron estudiadas por espectroscopía Raman, infrarroja, de dispersión de energía de rayos-x, por técnicas de origen nuclear y por mediciones de microdureza. En ambos casos se ha logrado la incorporación de nitrógeno a niveles altos: de 40% atómico en adelante. Sin embargo hemos encontrado que la dureza no guarda relación con el contenido total de nitrógeno sino con las condiciones de preparación, en particular con el bombardeo iónico y la temperatura durante el crecimiento; nuestros resultados sugieren la existencia de "ventanas" en estos dos parámetros para la producción de películas de material altamente entrecruzado y por lo tanto duro. Asimismo hemos establecido que las películas duras presentan señales distintivas en el espectro infrarrojo.
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